本文標題："電子顯微鏡的主要應(yīng)用有哪些以及電子顯微鏡種類"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 技術(shù)文章 ------ 人瀏覽過 -----時間：2013-4-12 1:16:17
電子顯微鏡的主要應(yīng)用有哪些
表面層結(jié)構(gòu):在微電子元件等應(yīng)用上極為重要，如研究薄膜成長結(jié)構(gòu)與性質(zhì)的關(guān)系，
在基底( substrate) 上，結(jié)核成長新層，薄膜中的缺陷觀察等
電子顯微鏡種類
• 掃瞄式電子顯微鏡
(Scanning Electron Microscope, SEM)
•穿透式電子顯微鏡
• (Transmission Electron Microscope, TEM)
掃瞄穿透式電子顯微鏡
(Scanning Transmission Electron
Microscope, STEM)
•分析型電子顯微鏡
(Analytical Electron Microscope ,AEM)
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