本文標題："晶圓顯微鏡廠商-光學顯微鏡檢測電極蝕刻結果實驗"
發布者：yiyi ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2013-1-10 1:14:6
蝕刻法于晶圓上制作電極圖形(pattern)，并以光學顯微鏡檢測電極蝕刻結果
實驗步驟
（1） 取出晶圓右上方部分，先將矽晶片用丙酮、異丙醇及去離子水清潔晶片，洗去第一次微影之光阻圖形。
（2） 將晶片表面以 PVD 方式濺鍍上金屬層(Cr)
（3） 以簡易清洗方式清洗濺鍍完之晶圓。
（4） 依 Lab1 的方式上光阻微影，將光罩右上角圖形轉移至晶圓光阻上。
（5） 以光學顯微鏡將圖中圈起部分（2 處）以 OM 照下來，并量測微影后特征尺寸的寬度。以檢驗第二次微影結果。
（6） 將微影完成之晶圓置于玻璃皿倒入鉻蝕刻液，以進行電極蝕刻
（7） 金屬蝕刻完成后，將矽晶片用丙酮、異丙醇及去離子水清潔晶片，洗去微影之光阻圖形。
（8） 再利用光學顯微鏡(OM)將圖 1 圈選處（2 處），以 OM 拍攝電極蝕刻結果，
并量測特征尺寸的寬度。注意每張 OM 照片上都必須標示比例尺
后一篇文章：電子顯微鏡觀察微分電容影像與表面形貌影像 »
前一篇文章：« 金屬材料研究分析原材料的特點-上海光學儀器一廠
tags:技術,生物顯微鏡,精密儀器,
晶圓顯微鏡廠商-光學顯微鏡檢測電極蝕刻結果實驗,熒光顯微鏡現貨供應
本頁地址：http://m.hxlbg.com/wz/444.html轉載注明
本站地址：http://m.hxlbg.com/
http://www.xianweijing.org/
資訊中心：
延伸閱讀
- 金屬材料研究分析原材料的特點-上海光學儀器一廠(2013-1-9 5:51:46)
- 顯微鏡觀察晶粒尺寸的大小與空孔的生成之間的關系(2013-1-8 23:51:0)
- 用于顯微鏡同軸照明用光源簡介(2013-1-7 23:50:26)
- 生物分子作用力顯微技術簡介-觀看與生物相關的結構(2013-1-6 23:31:44)