本文標題："越光滑的表面損耗越低，靈敏度將因而提升"
發布者：yiyi ------ 分類: 站內動態 ------ 人瀏覽過 -----時間：2013-1-6 23:29:52
瞬間制作出金屬奈米結構
金屬奈米結構是很多奈米級元件組成的關鍵要素，例如分子電子元件的電極、磁性記憶體以及利用金屬表面電漿子(surface plasmon)共振的光子元件。然而，如何快速制作出尺寸大小可以控制的金屬奈米結構，仍是一個值得研究的工作。
金屬的表面會短暫的熔化數百個奈秒，然后在石英模周圍重新結晶。這種超快的單步驟(one-step)處理，可以取代傳統需經多次光阻曝光顯影、蝕刻和移除光阻劑后才能完成的圖案轉移法(pattern transfer)。為證明此方法可行，研究團隊分別制作了鎳、銅、金與鋁等四種金屬光柵，其週期為200 nm，線寬為 100 nm。
此技術成功的關鍵在于使用了準分子雷射(excimer laser)，這種雷射通常應用在雷射手術中。由于它能只針對材料薄的表面層進行加熱，因此不會傷害到表面層以下的材料。此外，它對基板產生的熱效應也小，因此壓模與基板的熱膨脹系數不需要相同，例如研究人員可以使用石英壓模與矽基板的組合。
此制程技術極具發展性，例如直接在貴金屬(noble metal)薄膜上制作孔洞陣列，利用異常光穿透(extraordinary optical transmission, EOT)現象來做為生物感測器。除了制作金屬材料的奈米結構外，也可以使用平滑的石英壓模來得到更平滑的金屬表面，這對表面電漿子共振元件而言十分重要，因為越光滑的表面損耗越低，靈敏度將因而提升。
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