本文標題："電子器件制造中表面潔凈度應符合什么標準"
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電子器件制造中表面潔凈度應符合什么標準
把表面潔凈方面的這些缺點限制到很小程度或者消除掉，那么
就可以通過這些表面測定出不同晶面的光電性質、氧化邊度，以及
材料的表面電性能，特別是與半導體性能有關的這些性質。
關于表面潔凈度等級應有的篆本原則，法士沃茨認為:“絕對
的表面凈化是不可能的，對多數(shù)應用來說，只要表面污染減至小
限度，后沒有明顯的影響就行了。”這就或多或少為電子器件制
造中所用凈化加工奠定了工藝基礎。表面潔凈度應符合以下兩條
標準:
(1)必須滿足下道工序的要求;
(2)必須保證器件或設備更加可靠。
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