本文標(biāo)題："觀察樣品細(xì)微的高低差別所產(chǎn)生的反射光偏移"

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觀察樣品細(xì)微的高低差別所產(chǎn)生的反射光偏移

    相位反差 相位反差是亮視場(chǎng)的一種改進(jìn)形式，它可以使被
觀察樣品表示由于細(xì)微的高低差別所產(chǎn)生的反射光發(fā)生相位偏
移，在這種形式中，將一環(huán)狀膜片置于聚光鏡的前焦點(diǎn)位置，并在
物鏡的后焦點(diǎn)位置(圖4-3)放一相位片(環(huán)狀膜片的負(fù)片)。環(huán)狀
膜片被聚焦于相位片上。這樣，相位未受變化的光，將部分地被阻
隔，而相位己發(fā)生變化的光將引起增強(qiáng)，或削弱干涉，其變化隨波
前的偏移方向而定。
    相位反差對(duì)檢測(cè)極薄的表面層，既窄又不規(guī)則的，約在200埃
以下的表面是很有用的。相位反差的大分辨率約為2500埃，或
者是可見光波長(zhǎng)的二分之一。高低差別太大將再次失去相位反
差，但是，采用一般光照法，其反射光仍是清晰的。

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