本文標(biāo)題："用顯微鏡觀察多數(shù)情況下計(jì)算表面污染物的數(shù)量"

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用顯微鏡觀察多數(shù)情況下計(jì)算表面污染物的數(shù)量

    在多數(shù)情況下污染雜質(zhì)必須用數(shù)量表示。使用術(shù)語(yǔ)對(duì)一定的
問(wèn)題是有意義的。雜質(zhì)一般都是以上述材料的濃度來(lái)表示。例如百
分比，多數(shù)是百萬(wàn)分比(ppm)，有時(shí)也用十億分比(ppb)。這種表
示法對(duì)原材料雜質(zhì)的均勻分布是適用的。雜質(zhì)范圍己有規(guī)定的原
材料的檢測(cè)，采用這種表示式也是可以的，用ppm表示濃度，也
就是說(shuō)多數(shù)材料的雜質(zhì)是均勻分布的。在顯微鏡下通常就不是這
樣，這種變化在微電子學(xué)中非常重要。
    能否測(cè)表面污染，并計(jì)算表面污染物的數(shù)量，這是涉及微電
子學(xué)檢驗(yàn)化學(xué)的重要問(wèn)題。所謂“百萬(wàn)分之一”必須包括材料體積
的計(jì)算而且考慮所測(cè)雜質(zhì)和體積的關(guān)系。不能用它代表表面濃
度。圖8-la表示材料表面的雜質(zhì)能形成均勻薄膜，或呈現(xiàn)出單個(gè)
粒子，或形成介乎兩者之間的某物，即在表面局部出現(xiàn)的液體微
滴，表面污染物的更好表示方式可用單位面積的重，例如微克/
厘米。污染形式還有其它尺寸間題，例如粒子大小、個(gè)數(shù)和層厚
等的表示法。
    粒子往往被認(rèn)為是表面污染物的點(diǎn)源。這種點(diǎn)源在微電子學(xué)
中有很大影響，然而，器件的性能并不取決于污染物的總平均濃
度。即使用顯微鏡觀察，粒子對(duì)有源染成電路的部分區(qū)域有影響，
似乎在那個(gè)區(qū)域這種元素出現(xiàn)了100%的濃度，實(shí)際也的確如此。
從分析的觀點(diǎn)來(lái)看，如果用儀器在襯底上分析1微米粒子，它只
能分解100微米x 100微米面積，10微米深，襯底材料出現(xiàn)
10 ppm粒子(圖3-1b)。用儀器檢測(cè)，在1微米3休積中，粒子是該
成分的100%。所以，空間分辨率是分析污染物極其重要的手段。

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