本文標題："按裝置的原理，干涉顯微鏡可劃分為兩大類"

按裝置的原理，干涉顯微鏡可劃分為兩大類

對干涉儀結構的基本要求

在設計干涉儀時，正確地確定對結構的要求，是很重要

的，即是說，要正確規定光學零件的公差，確定部件位移范

圍及靈敏度、規定好干涉儀的抗振穩定性與抗溫度變化的穩

定性．干涉圖樣的質量，其穩定性以及測量的準確度等均取

決于這些要求的完成情況．我們來簡要探討一下各種干涉儀

的結構特點．

按裝置的原理，干涉儀可劃分為兩大類．第一類是按波

前鑒別光波的干涉儀，例如瑞利干涉儀．這類儀器操作簡

易，對振動不甚敏感并且對結構剛性無特殊要求．屬于第二

類的是按波幅鑒別光波的干涉儀，例如邁克爾遜干涉儀．這

類儀器的結構比較復雜，但可用較多種光源進行工作，可給

出較亮的圖樣．

按用途而言，干涉儀也可以劃分為兩類，以A和B表示

之．屬于A類的是測量干涉條紋偏移用的儀器．根據干涉條

紋的偏移量來確定長度量與角度量，確定介質的折射率及

其它等等．屬于B類的是測量干涉條紋形狀用的儀器．根據

干涉條紋的彎曲來確定表面形狀(宏觀輪廓)或加工光潔度

(微觀輪廓)、研究氣流、測量光學系統的波象差及其它等

等．

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