本文標題："手工軸孔裝配輔助用立體顯微鏡定制廠商"

手工軸孔裝配輔助用立體顯微鏡定制廠商

軸孔裝配是有約束裝配，除非有一個單獨的自由度在裝配的軸向，否則裝配不能完

成。而順應裝配方法可以解決這一問題。即所謂順應裝配，是在手爪的后部有一個順應

裝置與機械手末端相連接，從而克服裝配時的位置和姿態誤差。

手爪的設計采用深度反應離子刻蝕DRIE (Deep Reactive Ion Etching)工藝，開始時，

微手爪和基底通過側面小結構相連，一個微探針可以將小結構破壞，從而使微手爪和基底

分離。DRIE工藝的優點是可以制造厚的結構。實際應用中發現，利用該工藝制造孔時，

很難制造出斜面，受工藝的限制，該方法只能制造出垂直面。

熱雙向壓電晶片用于驅動該MEMS手爪，該元件的優點是，利用小的電壓可以產生

大的力和位移。如利用5V電壓，可以使手爪頂部張開20微米。手爪的設計可以采用兩種

結構，一種為彈性弦結構，另一種為柔性鉸鏈結構，這兩種結構都可以在手

爪的頂部產生被動順應。對于鉸鏈式結構，它的旋轉中心是固定的，所以，它可以處理一

個旋轉自由度，這種結構的剛度要比彈性弦的剛度大，因此，它有小的變形，適合于精確操

作。彈性弦結構可以提供大的工作范圍，旋轉中心取決于彈性弦的變形量，該結構可以處

理兩個自由度，包括一個旋轉自由度和一個平移自由度。

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