本文標題："齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學影像測量儀"

齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學影像測量儀

光學和電子顯微鏡法

光學和電子顯微鏡法常用來研究降解過程中表面的幾何形態

(組織形態)變化。光學顯微鏡法分辨率有限(大約]微米)，

所得到的是有關形成大的裂紋、裂縫、氣泡等數據，這些都與表

面光澤有關。表而復制電子顯微照相(例如，用聚合物纂膠或

烙體復制)有高的分辨率(^-5^-10納米)，，但制備模擬制品是

困難的，并且在制備時可能帶入人工的影響。掃描電子顯微鏡法

(S EM)是用于表面研究的J泣通用的方法，分辨率約10-20

納米。SEM能得到極好的立體表面形態圖象，甚至能觀察到給

晶現象。

近發展的周節測量儀有:測量方法還是原來的而實現了自

動化的測量儀，引進了可直接求出分度誤差的新測量方法而實現

了自動化的測量儀。

對于滾齒或齒條形刀具切齒的齒輪，刀具基節轉移為工件基

節，間接測量刀具基節。精度低的齒輪，特別是齒形誤差大的齒

輪，因測量位且產生的誤差變動大，難以測量。相反，磨齒齒輪

由于齒形精度高，測量也比較容易。用手持式測量儀測量斜齒輪

基節時，螺旋角大者則基節測量值難以穩定。

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